公告概要：
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目 | ||
| 品目 | |||
| 采购单位 | 广东工业大学 | ||
| 行政区域 | 广东省 | 公告时间 | 2025年05月29日 15:07 |
| 获取招标文件时间 | 2025年05月30日至2025年06月06日 每日上午:00:00 至 12:00 下午:12:00 至 23:59（北京时间，法定节假日除外） |
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| 招标文件售价 | ￥0 | ||
| 获取招标文件的地点 | 广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/ | ||
| 开标时间 | 2025年06月19日 09:30 | ||
| 开标地点 | 广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/ | ||
| 预算金额 | ￥149.980000万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 陈小姐、黄先生 | ||
| 项目联系电话 | 020-87258495-105 | ||
| 采购单位 | 广东工业大学 | ||
| 采购单位地址 | 广州市广州大学城外环西路100号 | ||
| 采购单位联系方式 | 020-39340032 | ||
| 代理机构名称 | 广东元正招标采购有限公司 | ||
| 代理机构地址 | 广东省广州市越秀区先烈中路102号华盛大厦北塔26楼2608 | ||
| 代理机构联系方式 | 020-87258495-105 | ||
项目概况
半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目招标项目的潜在投标人应在广东省政府采购网https://gdgpo.czt.gd.gov.cn/获取招标文件，并于 2025年06月19日 09时30分 （北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：0835-250Z12302861
项目名称：半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购项目
采购方式：公开招标
预算金额：1,499,800.00元
采购需求：
采购包1(半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统采购):
采购包预算金额：1,499,800.00元
| 品目号 | 品目名称 | 采购标的 | 数量（单位） | 技术规格、参数及要求 | 品目预算(元) | 最高限价(元) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1-1 | 其他仪器仪表 | 镀膜-等离子增强化学气相沉积01-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 247,000.00 | – |
| 1-2 | 其他仪器仪表 | 镀膜-电子束蒸发系统01-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 38,000.00 | – |
| 1-3 | 其他仪器仪表 | 镀膜-电子束蒸发系统02-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 38,000.00 | – |
| 1-4 | 其他仪器仪表 | 镀膜-等离子增强化学气相沉积02-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 247,000.00 | – |
| 1-5 | 其他仪器仪表 | 湿法-通风柜（普通）-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 42,000.00 | – |
| 1-6 | 其他仪器仪表 | 湿法-单片清洗系统-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 81,000.00 | – |
| 1-7 | 其他仪器仪表 | 湿法-甩干机-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 40,000.00 | – |
| 1-8 | 其他仪器仪表 | 湿法-清洗系统(四槽)-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 61,000.00 | – |
| 1-9 | 其他仪器仪表 | 湿法-清洗系统 （双槽，去胶）-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 60,000.00 | – |
| 1-10 | 其他仪器仪表 | 光刻-金相显微镜-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 2,700.00 | – |
| 1-11 | 其他仪器仪表 | 刻蚀-等离子刻蚀-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 110,000.00 | – |
| 1-12 | 其他仪器仪表 | 刻蚀-去胶机-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 64,000.00 | – |
| 1-13 | 其他仪器仪表 | 刻蚀-等离子清洗机-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 41,000.00 | – |
| 1-14 | 其他仪器仪表 | 刻蚀-光学显微镜二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 2,700.00 | – |
| 1-15 | 其他仪器仪表 | 本科-黄光间通风橱-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 16,600.00 | – |
| 1-16 | 其他仪器仪表 | 本科-光刻机01-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 17,000.00 | – |
| 1-17 | 其他仪器仪表 | 本科-光刻机02-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 16,000.00 | – |
| 1-18 | 其他仪器仪表 | 本科-光刻机03-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 16,000.00 | – |
| 1-19 | 其他仪器仪表 | 本科-热蒸发镀膜-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 6,800.00 | – |
| 1-20 | 其他仪器仪表 | 本科-氧化扩散炉-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 87,000.00 | – |
| 1-21 | 其他仪器仪表 | 刻蚀-尾气预处理设备01-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 56,000.00 | – |
| 1-22 | 其他仪器仪表 | 镀膜-尾气预处理设备02-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 56,000.00 | – |
| 1-23 | 其他仪器仪表 | 毒腐气体间-尾气预处理设备03-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 56,000.00 | – |
| 1-24 | 其他仪器仪表 | 化学品暂存间-大化学品柜-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 49,000.00 | – |
| 1-25 | 其他仪器仪表 | 化学品暂存间-化学品管理系统-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 5,800.00 | – |
| 1-26 | 其他仪器仪表 | 工艺辅房4-小化学品柜-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 21,000.00 | – |
| 1-27 | 其他仪器仪表 | 工艺辅房5-冰箱-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 4,100.00 | – |
| 1-28 | 其他仪器仪表 | 工艺辅房4-化学品管理系统-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 5,000.00 | – |
| 1-29 | 其他仪器仪表 | 二更-洁净室衣柜-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 8,300.00 | – |
| 1-30 | 其他仪器仪表 | 二更-洗手台-二次配系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 4,800.00 | – |
本采购包不接受联合体投标
合同履行期限：合同生效60天内中标人完成货物安装调试并交付使用。
二、申请人的资格要求：
1.投标供应商应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件，提供下列材料：
1）具有独立承担民事责任的能力：在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织或自然人， 投标（响应）时提交有效的营业执照（或事业法人登记证或身份证等相关证明） 副本复印件。分支机构投标的，须提供总公司和分公司营业执照副本复印件，总公司出具给分支机构的授权书。
2）有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录：提供承诺函（格式可参考招标公告
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